Использование технологии треков быстрых тяжелых ионов для создания микро- и наноэлектронных устройств
Технология треков быстрых тяжелых ионов (SHI) предлагается для создания микро-и наноэлекгронных устройств на основе полимерных пленок (в сотрудничестве с Хан-Майтнер-Институтом, Берлин, Германия). В рамках данного исследования созданы первые прототипы микромагнитов, микротрансформаторов и микроконденсаторов на основе пленок полиимида (PI) с протравленными ионными треками, которые были заполнены чистыми металлами посредством технологии бесконтактного осаждения (ELD) через специальные маски. Прототип микромагнита обладает добротностью порядка ~7 при рабочих частотах около 0.5 ГГц, а параметр связи микро-трансформатора составляет около 90%. Прототип микроконденсатора характеризуется практически независимой от частоты емкостью порядка 0,5 - 0,6 пФ при частотах до 1 ГГц. Возможное применение данных устройств на основе ионных треков включает в себя навигационные системы автомобилей, космические аппараты и новые системы хранения данных.

Отдел криогенных исследований Демьянов С.Е. (017) 284 11 66


Случайное изображение
АКТУАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА
Конференции - АКТУАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА
Изображений: 85
Добро пожаловать,
Почта сотрудников центра
bulletПерейти к почте

Выбрать язык


This site is powered bye107, which is released under the terms of the GNU GPL License.